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岗位职责：1. 负责EFEM（设备前端模块）、VR（真空机械手）等部件的设计、选型、SPEC定义及供应商管理；2. 负责研发Demo线下测试、上机联调测试，排查解决测试过程问题，提供出厂后客户技术支持；3. 制定设备Start up、调试、维护方案，完成客户端设备操作、维护及故障排除；任职要求：1. 熟悉机械传动、气动、自动化、机器人原理，掌握伺服、气动等传动系统调试；2. 具有半导体设备调试、维护、故障排除经验，熟悉真空机械手、EFEM等设备的SOP编写及维护；3. 掌握AutoCAD等绘图软件，具备PLC程序修改调试经验，能熟练操作Brooks/新松真空机械手、Rorze/广川EFEM者优先；
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