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职位月薪: 面议
Key Responsibilities:
本岗位专注于中微工艺设备的多物理场计算流体力学仿真与协同设计,通过开展流动、传热、组分输运、界面与反应耦合等多物理场仿真分析,在机台全生命周期参与概念设计、结构优化、工艺调参、异常诊断与机理研究,持续提升产品性能并加速研发迭代。核心职责包括:
1)建立腔室内流体输运、组分扩散、反应分布等工艺过程的数值模型,提升工艺均匀性与稳定性,支撑腔室及核心部件结构设计;
2)开展晶圆承载平台、加热模块、流道冷却系统等关键部件仿真设计,满足静态与动态温场特性要求;
3)完成整机及关键部件的共轭传热仿真,支撑热结构设计与热 - 力耦合应力评估,协同结构强度仿真团队完成关键部件寿命分析;
4)构建仿真与温度控制设计联动机制,针对典型腔室工艺开展开环 / 闭环系统仿真,协助控制算法设计与参数优化
Requirements:
硕士及以上学位,专业领域是能源与动力工程、工程热物理、航空工程、材料与化工、流体力学、机械工程、制冷供暖、热能工程等
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本岗位专注于中微工艺设备的多物理场计算流体力学仿真与协同设计,通过开展流动、传热、组分输运、界面与反应耦合等多物理场仿真分析,在机台全生命周期参与概念设计、结构优化、工艺调参、异常诊断与机理研究,持续提升产品性能并加速研发迭代。核心职责包括:
1)建立腔室内流体输运、组分扩散、反应分布等工艺过程的数值模型,提升工艺均匀性与稳定性,支撑腔室及核心部件结构设计;
2)开展晶圆承载平台、加热模块、流道冷却系统等关键部件仿真设计,满足静态与动态温场特性要求;
3)完成整机及关键部件的共轭传热仿真,支撑热结构设计与热 - 力耦合应力评估,协同结构强度仿真团队完成关键部件寿命分析;
4)构建仿真与温度控制设计联动机制,针对典型腔室工艺开展开环 / 闭环系统仿真,协助控制算法设计与参数优化
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硕士及以上学位,专业领域是能源与动力工程、工程热物理、航空工程、材料与化工、流体力学、机械工程、制冷供暖、热能工程等
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